真空机组一般由下列元件构成：各种真空泵；真空测量装置；真空阀门；真空管道和一些其它元件，例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。

按机组的工作压力分，有粗真空机组(>1330Pa)；低真空机组(1330~0.13Pa)；高真空机组(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；极高真空机组(<1.2×10-11 Pa)。


2、低真空机组

低真空机组的主要特点是工作压力高，排气量大，但抽速比高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大，工作压力较高的真空输送、真空浸渍、真空过虑、真空脱气、真空干燥等装置中。低真空机组的主泵常用往复式真空泵、油封真空泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵、油蒸汽喷射泵、分子筛吸附泵和罗茨泵等。使用低真空机组，还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度等工艺要求，配置除尘器、干燥过虑器等元件。

3、高真空机组

①选好主泵，主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)

4、超高真空机组

主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

①扩散泵机组：降低返流、控制污染;

②分子泵机组：对氢压缩比小，残余气体主要是氢;

③溅射离子泵机组：通常与钛泵联合使用;

④低温泵机组：无污染。