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日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
来源: | 作者:kashiyama代理商 | 发布时间: 2024-09-23 | 569 次浏览 | 分享到:

一、 技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

式样

SDE120TX

ZUI大排气速度（L/min）

1500

达到压力（Pa）

1.3

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力（KW）

6.5KVA

吸气口

NW50

排气口

NW40

外型尺寸WHL [mm]

280×299×550

质量【kg】

151kg

二、 配置清单：

序号

描述

数量

备注

1

SDE120TX主机一台，电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器（原厂件，选配）

未包含

7

入口过滤器（选配，非原厂件）

未包含



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